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            音訊稱 SK 海力士將在 1c DRAM 生產中選用新式 Inpria MOR 光刻膠
            欄目:汽車配件 發布時間:2024-06-08 19:24:27

            IT之家 5 月 30 日音訊,音訊用新跟著 DRAM 小型化的力士不斷推動,SK 海力士、將c膠三星電子等公司正在致力于新材料的生產式開發和運用。

            據 TheElec,中選SK Hynix 方案在第 6 代(1c 工藝,光刻約?10nm)DRAM 的音訊用新出產中運用 Inpria 下一代金屬氧化物光刻膠(MOR),這是力士 MOR 初次運用于 DRAM 量產工藝。

            音訊人士稱,將c膠SK Hynix 量產的生產式 1c DRAM 上有五個極紫外 (EUV) 層,其間一層將運用 MOR 制作。中選他還彌補說,光刻“不只 SK 海力士,音訊用新三星電子也將尋求這類無機 PR 材料。力士”。將c膠

            IT之家查詢揭露材料得悉,Inpria 是日本化學公司 JSR 的子公司,也是無機光刻膠范疇的領導者;而 MOR 則被認為是現在用于先進芯片光刻的化學擴大光刻膠(CAR)的下一代產品。

            此外,該公司自 2022 年以來就一向與 SK Hynix 協作進行 MOR 研討。SK Hynix 此前曾表明,運用 Sn(基)氧化物光刻膠將有助于進步下一代 DRAM 的功能并降低成本。

            TheElec 報導還指出,三星電子也在考慮將 MOR 運用于 1c DRAM,現在三星電子在 1c DRAM 上運用了 6 至 7 個 EUV 層,而美光則只運用了 1 層。

            • 《音訊稱三星方案量產的 1c DRAM 運用 MOR 光刻膠》。

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